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佳能推KrF光刻机,套刻精度达4nm
AI怪盗图11月8日消息,EUV光刻机是7纳米以下先进工艺生产中不可或缺的关键设备,全球目前只有荷兰ASML公司能够实现量产。然而,日本佳能公司选择了一条不同的技术路线,推出了一款…
5小时前