Intel 18A晶圆厂:4台EUV加持,月产4万片

Intel 18A工艺是其四年五代工艺的关键,有望超越3nm,引入RibbonFET和PowerVia两大创新。位于亚利桑那州的Fab 52厂已部署四台EUV光刻机,月产能达4万片晶圆。18A工艺的两款产品Panter Lake和Clearwater Forest明年上市,但初期良率爬坡,预计2027年初达理想状态,新品定位或偏高端。

近日,英特尔(Intel)公布了其18A工艺,这是其“四年五代”工艺技术中最关键的一环,尤其是在20A工艺取消的情况下,18A工艺的重要性愈发凸显。

按照传统的命名方式,18A工艺约合1.8纳米制程,理论上在技术水平上略高于目前台积电(TSMC)最先进的2纳米工艺。尽管台积电的2纳米工艺尚未有详尽的市场数据,但英特尔18A工艺的整体性能,即使在晶体管密度上略逊一筹,也很有可能优于市场上的3纳米工艺。

18A工艺引入了两项核心创新技术:一是RibbonFET晶体管,这是英特尔自主研发的GAA(Gate-All-Around,全环绕栅极)晶体管技术,旨在提升电晶体的控制能力和效率;二是PowerVia背部供电技术,这项技术致力于解决传统正面布线易出现的拥堵和电压下降等问题,通过将供电线移至芯片背面,可以显著降低功耗并提升整体性能。

Intel 18A芯片厂揭秘:已有4台EUV光刻机 月产4万片晶圆

18A工艺的生产基地位于英特尔亚利桑那州的Fab 52芯片工厂。据了解,该工厂已部署了至少四台EUV(极紫外光)光刻机。其中,一台是型号为NXE:3800E的最新型号,每小时产能可达220片晶圆;其余三台则为NXE:3600D型号,每小时产能为160片晶圆。这种先进的设备配置为18A工艺的量产奠定了基础。

Fab 52晶圆厂的设计产能为每周生产1万片晶圆,月产能达到4万片,这在晶圆制造领域属于相当大的规模。相较之下,这一规模已相当于台积电在美国的Fab 21工厂一期和二期工厂的总和,显示出英特尔在先进制造方面的雄心。

英特尔计划在其亚利桑那州的园区内最终部署至少15台EUV光刻机,并且还包括下一代的High NA EUV光刻机。然而,具体的光刻机配置比例以及部署时间表尚未完全公开,这为未来的产能扩张和技术迭代留下了想象空间。

基于18A工艺的两款主要产品将是面向PC平台的Panther Lake处理器和面向服务器的Clearwater Forest处理器,预计将在明年实现大规模上市。然而,目前这些新产品的产能仍处于爬坡阶段,良率的稳定性和提升速度将是影响产品出货量和成本的关键因素。

英特尔公司曾表示,其良率爬坡曲线已符合行业标准,每月可提升7%。但要达到理想良率水平,可能需要等到2027年初。这意味着,即将于CES展会上正式发布的Panther Lake笔记本在初期可能不会有价格优势,定位可能与此前的Lunar Lake一样偏向高端市场。值得注意的是,英特尔在此前的采访中也曾暗示,将策略性地调整其在低端市场的布局。

Intel 18A芯片厂揭秘:已有4台EUV光刻机 月产4万片晶圆

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